真空箱氦检漏的特征和优点
1、高压氮气强度检测真空箱内进行,保护操作者安全
2、真空箱内氦气本底抑零,保证了检漏的准确性、。
3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序,可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。
4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件,并通过灯光和液晶操作屏显示出来。
5、专利技术的密封接头,减少误判。
6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,确保了系统的操作安全及可靠运行。
7、PLC控制,使系统运行清晰明了,实现了实时监测及控制。
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氦质谱检漏原理
氦质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体氦气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器,用于检漏的一种检测技术,它的检漏灵敏度可达10-14~10-15Pa?m3/s,可以准确确定漏孔位置和漏率。氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。性能特点1、安全★电气系统具有自我检测、连锁保护和报警功能,确保系统本身运行安全可靠和被检工件的安全。质谱室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和机械泵之间,利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点,氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室中将气体电离,这些离子在加速电场的作用下进入磁场,在洛伦兹力作用下发生偏转,由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性,偏转半径各不相同,在挡板的作用下,氦检漏仪的收集板只允许带正电的氦离子被接收到,单位时间到达收集板的氦离子对应于一个电流信号,这个电流信号正比于进入到达收集板氦离子的数量,电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上,其大小反映了泄漏点的漏率,通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。
氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气,是因为氦气具有以下优良特性:
①氦气在空气中的含量少,体积含量为5.24×10-6,如果氦气在环境中的含量超过标准,可以比较容易地探测到极微量的氦气;
②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除;
③氦离子荷质比小,易于进行质谱分析;
④氦气是惰性气体,化学性质稳定,不会腐蚀和损伤任何设备;
⑤氦气无毒,不凝结,极难容于水。
今天科创真空小编和大家分享的是氦质谱检漏的工作原理,希望对您有所帮助!
氦质谱检漏常见问题
氦质谱检漏仪是现在比较常用的检测仪器,那么在使用过程中我们又遇到哪些问题呢?今天科创鼎新的小编就和大家来一起总结一下!
一、为什么用氦气作为示踪气体?其他气体可以吗?(1)在空气中含量低(只有5 ppm),环境本底低
(2)惰性气体不易1燃,不易1爆对环境没有污染,不与其他物质反应,可以混合到任意浓度
(3)无毒,可以用在食品工业
(4)在质谱仪谱图中易于与其他物质区分
(5)比空气轻,运动速度快
(6)气体分子很小,可以穿过微小的泄漏孔
(7)其它气体也可以
二、喷氦检漏的注意事项。
(1)被测系统应尽量清洁,干燥,无油
(2)如果测量条件发生变化(温度),需要重新对检漏仪做内部较准
(3)氦气比空气轻,喷氦法检漏应注意方向
(4)尽量不要使用密封脂(油脂会大量吸附氦气)
(5)不要向环境释放大量氦气
(6)真实的漏率信号应当是快速上升的信号,相对缓慢下降的信号
三、漏率(leak rate)
在已知漏泄处两侧压差的情况下,单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。
注:采用国际单位制时,漏率单位为:Pa?m3/s。
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真空检漏技术
真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术,相应的仪器称为检漏仪。5、可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯,极大降低氦气损耗(功能可选)。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置,以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。
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