氦质谱检漏仪的结构和工作原理
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。被检工件冲入氦-氮混合气体,利用吸枪在被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1 优于200 Pa 时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当P1降至20 Pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。
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氦质谱检漏仪的主要及时指标
北京科创鼎新真空技术有限公司(简称:科创真空)是从事真空系统设计、制造及真空技术服务的专业化公司。公司致力于真空氦检漏设备、非标真空系统设计开发与制造。
1. 较小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s
2. 漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3. 启动时间:≤5min
4. 响应时间:≤1s
5. 检漏口的较高压力:1500Pa
6. 电源要求:220v,50Hz,单相,10A
7. 工作环境:5-35℃
8. 相对湿度:≤80%
9. 外形尺寸:550(w)×400(D)×780(H)
10. 重量:64kg
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氦质谱检漏的成本控制
氦质谱检漏相对于其他的检漏方法,因使用抽真空机组及高纯氦气其经济成本居高不下。笔者在生产制造检测中摸索出一整套减少检测费用的方法,使氦质谱检漏具备了在板翅式换热器生产中大规模使用的可能。
检漏口真空度的控制
根据NB/T 47006 铝制板翅式热交换器中A.5 氦质谱检漏和JB/T 7261 铝制板翅式热换器中漏率要求,检漏口真空度一般要求为:1.33Pa。
在设计图样及供货合同中对检漏口真空度有明确要求的,按照其要求的检漏口真空度进行检测;如果没有要求,根据大量的检测经验,将检漏口真空度控制在1.0Pa-15Pa,这样的一个检漏口真空度并没有降低检测的准确性,但其抽真空所需的电费能减少20%-50%。光无源器件对密封性的要求极高,如果存在泄漏会影响其使用性能和精度,光通信行业的漏率标准是小于5×10-8mbar。
抽真空管道口的控制
对一通道进行抽真空操作时,如果对进口和出口同时抽,比对单一口进行抽取时,节省时间达60%-75%。减少了抽取时间,降低了经济成本。
结束语
正确的选择检漏方法、检漏口真空度的大小、氦气的使用、工件干湿度的控制、抽真空的方式,不仅能够获得可靠的检测数据,而且能够大大降低生产检测成本,氦质谱检漏在板翅式换热器的今后的生产具有重要意义,换热器的性能指标有了量化的考评,对提升板翅式换热器的产品质量具有推动性作用
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