真空法氦质谱检漏
采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。因为纯钨丝高温使用发生再结晶以后变得很脆，再受到冲击或震动时极易断裂。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的准确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。
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氦质谱检漏仪的检漏方式有那些
氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1优于200Pa时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10-10Pa·m3/s。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
氦质谱检漏仪逆扩散原理
逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，氦质谱检漏仪可达1000Pa（一般常规检漏仪为0.05Pa以下），适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝寿命长等优点。
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氦质谱检漏仪的准确性
一，标准漏孔的自身要符合相关的质量要求。标准漏孔能自带第三方的检测证书。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。例如，美国国家计量院NIST；中国国家计量院，或有资质的检定机构；德国的DKD等。标准漏孔要通过有标准漏孔检定资质的第三方，进行检定。以此来保证标准漏孔本身没有问题。
二，标准漏孔要经常检定、校准。建议每年进行一次校准。尤其是年泄漏率大的标准漏孔，更是要注意，经常校准。如果发现异常，要用外置漏孔校准。
氦质谱检漏的成本控制
氦气的使用控制
板翅式换热器的体积大，焊缝长度大，氦质谱检测时，需要大量的氦气。在温度发生变化时，这种灵活设计的管道能平衡玻璃和钢的不同热膨胀系数。工业使用的高纯氦气，其成本较高，一瓶达几千元，如果使用高纯氦直接检测其花费的成本大。在进行吸入法和钟罩法时，采用氦气与氮气的混合气进行检测，能使氦气的使用成本下降70%-80%。
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