真空压力法氦质谱检漏

采用真空压力法检漏时，需要将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后，再与氦气源相连，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入真空密封室，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率的测量。氦气是无毒无色无味的惰性气体，这就意味着，正常情况下其可以作为介质在所有的物体中存在，且不发生反应。

真空压力法的优点是检测灵敏度高，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。

真空压力法的缺点是检漏系统复杂，需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求确保充气管道接口无泄漏，或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。

真空压力法的检测标准有GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于结构简单、压力不是特别高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。

试漏压力与运行过程中受到的较大压力相同

许多密封件是在一定的压力阈值下出现泄漏。如果未在运行过程的压力下试漏，那么一些漏孔则不宜检测出来。因此，在测漏过程中采用较高的测试压力，可有效检测出在实际运行中未出现的漏孔。

科创真空专业提供氦检漏服务，如果您想了解更多产品信息您可拨打图片上的电话进行咨询！科创真空竭诚为您服务！

吸氦法氦质谱检漏方法

吸氦法主要用于检查某些大型密封容器。如弹体、弹头、气罐、油罐等,先将容器抽真空,再给容器充入氦气(为了节省用氦量,可以用低浓度氦气) ,在氦质谱检漏仪的进气法兰处接上橡皮管,橡皮管的前端有直径很小的毛细管,使毛细管在充了氦的被检容器外壁的焊缝和密封接头等处移动,如果该容器有漏隙,经漏隙渗出的氦会被毛细管吸入,检漏仪就会响应。按照收集氦气方式的不同，又可以将正压法分为正压吸枪法和正压累积法。

氦气检漏是怎样操作呢？

任何仪器在制作过程中难免会遇到密封不严的情况，某些不重要的设备中轻微的泄露没有太大关系，但是在半导体器件、集成电路等重要电气设备及仪器中，良好的密封才能决定仪器的正常使用，所以检漏十分重要！氦气在空气中的体积含量约为5ppm，这说明正常空气环境中氦气的含量很小，即氦本底很好。市面上有各种检漏仪器，常见的载气有氮气、氢气、氦气等。氦气检漏大家想必都听说过，那么氦气检漏是怎样的呢？氦气检漏是如何操作的呢？

在设备和厂房当中，常常有一些管道等连接的部位，这些地方的封接处可能存在肉眼难以察觉的细小孔洞，在使用时如果不注意就会导致泄露，从而造成事故。在这 些地方氦气怎么检漏？利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体，氦气在自然状态下会向上垂直扩散，在被检测的管道中注入氦气。如果这些设备有漏点，那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。这就是管道中氦气检漏的方法。检漏气体测试前切勿使用水槽试漏检漏气体测试的漏孔通常非常微小或者是狭长的毛细管，如果在检漏气体测试前将漏孔置于水槽中，这些漏孔或者毛细管则将被水堵塞或充满，而堵在漏孔中的水因为表面张力的原因，会非常不易从小孔中驱逐，从而大大影响检漏结果。

对于一些的细小电子元件，氦气怎么检漏呢？将要检测的元件放入充满氦气的容器中并且加压。在压力的作用下，如果这些元件存在漏点，必然会有氦气通过 这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留氦气吹扫干净之后，再利用质谱仪检测元件表面泄露的氦气。看到这里大家得注意，氦气的价格不菲，进行一次氦气检漏的费用自然不低。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。

氦气怎么检漏，氦气检漏就是利用了氦气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中，利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的氦气。检测时首先探测到氦气的 ，得到氦气的水含量，再利用色谱仪计算出氢气、氧气、C02气体等杂质。氦检漏有两种工艺，一种是背压法，另一种则是真空箱法。因此，在测漏过程中采用较高的测试压力，可有效检测出在实际运行中未出现的漏孔。