北京科创鼎新真空技术有限公司

半导体氦检漏设备服务介绍【科创真空】

2021-06-21







充气开关柜检漏设备  

由于工件内外压差不能大于0.04Mpa,抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压,如果压力差超过设定值,则抽速较快的泵自动停止,等压力差达到规定要求时,泵自动运行,直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。不得有流痕,麻坑、缩孔、颜料se斑等缺陷,厚度50-80μm。系统同时具有自我诊断与报警功能,显示各种故障信息。

电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能,以及急停按钮,确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。为了保证工件的安全,系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式,以防止传感器失效而对系统造成的伤害。

结构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统,分散与集中控制相结合,层次分明、成本低廉、维护方便。上位机采用工控机,用于向PID发布指令、系统运行状态集中管理。

控制系统同时具有自我诊断与报警功能,显示各种故障信息。控制系统同时具有自我校准、连锁保护和报警功能,确保系统本身运行安全可靠和被检工件的安全。

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真空箱式氦检漏设备 充气柜氦检漏设备  环网柜检漏设备

以下内容由科创真空为您提供服务,希望对同行业的朋友有所帮助。

系统严格按照客户的要求设计制造,采用模块化的设计,充分考虑客户的检漏要求,同时也尽可能采用标准化的模块和部件,保证了系统的可靠性和可维护性。真空箱式氦检漏设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏SF6充注,首先对工件充注一定压强的干燥压缩空气或氮气,保压判大漏。大漏合格后,对工件和真空箱抽真空,被检工件充注氦气,应用真空箱法进行氦质谱气密性检测;然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6。全电脑控制,全自动检测,排除操作者人为因素导致的误判。性能特点1、安全★电气系统具有自我检测、连锁保护和报警功能,确保系统本身运行安全可靠和被检工件的安全。自动判断,声光提示。

本设备严格按照“用户技术要求”设计制造。

本设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏、SF6及氮气充注,首先对工件进行真空内外压强抽空,真空法判大漏。大漏合格后,对工件和真空箱抽真空,被检工件充注氦气,应用真空箱法进行氦质谱气密性微检漏检测;然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6及氮气工作气体。通过本装置判断出被检工件中的合格与不合格产品。1真空箱单元真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。

主要技术参数及要求:

1、 真空箱尺寸:长00mm×宽00mm×高00 mm

充氦气压力:0.05Mpa(可调)

2、 工作节拍:<40分钟/件

3、 箱内接口数量:大件1个工件接口。小件2个工作接口。

4、 氦气回收率:95%-98%

5、 可检漏率:≤2.8×10-6Pa m3/S

(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时,应可检出)

6、 保压检测时间:(1-600S可调)

7、 工件真空≤1000Pa

8、真空箱检漏真空≤20 Pa

9、系统自身漏率:≤10-9 Pa m3/s

10、箱门开关方式:自动

真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。








检漏设备在检测时需要留意的事项

运用检漏设备检测气密性的时分,留意不要随意拔下配管。其在加压状态下,制止取下衔接仪器和减压阀之间的一个接头和配管。也正是由于如此,其很多的压缩空气吹出,这样来讲的话,其实也便是会对人形成很大的损伤;再者,其在反常状态下其实也便是要制止进行运用。另外,工件水检后,外表面有水,需烘干处理,耗电多,耗费劳动力也多。

检漏设备没有被测物或者是衔接配管的时分,其实也便是不要进行检测。否则的话,它从检漏仪走漏出的很多压缩空气来讲,这样来讲,其实也便是会对人形成很大的损伤;在走漏测验完毕的时分,记住把空气彻底扫除洁净之后,其实也便是要撤除被测物。