真空箱法氦质谱检漏的原理与系统特点

真空箱法氦质谱检漏的充气回收检漏系统

1．配置与气路控制

真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。

工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：氦气储存罐(高压罐)，氦气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。

真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、PLC系统(可编程逻辑控制器)，充氦回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。

2.系统检测过程

1)、通过v1、V4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭V1，打开V2

2)、充氦系统通过V2对工件进行充氦至核定的压力，稳定，关闭V2

3)、关闭V4，打开V3、V5，处在正常工作状态待命的氦质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断V3、V5，打开V2对氦气进行回收。

4)、关闭V2打开V6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。

5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的氦气回收,对真空箱和管道巾的氦气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。

6)、维持泵有一定的氦分流作用,不宜过大(不超过41),清洁泵也同样。

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真空箱氦检漏的特征和优点

1、高压氮气强度检测真空箱内进行，保护操作者安全

2、真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、。

3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序，可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。

4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件，并通过灯光和液晶操作屏显示出来。

5、专利技术的密封接头，减少误判。

6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。

7、PLC控制，使系统运行清晰明了，实现了实时监测及控制。

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气密性检测是确保产品质量，出产安全的重要工序，在出产过程中的效果现已收到了广泛认可，应用领域也越来越广。检漏设备能够广泛应用于各行业，可对各种有气密性检测要求的产品进行检测实验。

气密性检测可按测验手法分为两大类，一类为水没式走漏检测法，即在向工件腔内充进必定压力的气体时，将其浸人水中或涂肥皂泡，依据目测肥皂泡或水中的气泡来断定工件是否有漏及走漏的程度.现在,这种办法在冰箱、空调的密封管道以及箱体检漏时仍遍及选用。氦气检漏氦质谱检漏的检测精度高，可达到1×10-7Pa·m3/s。这种办法测验功率低，受主观因素影响较大，无法定量丈量，一起用这种办法测验后，还有必要对工件进行枯燥和防锈处理。

检漏设备主要是用净化枯燥空气为作业介质对具有必定内容积的腔体的密封功能检测，亦能够选用串联、并联办法做其他检测。但不能够直接对气-液相二相流改组、气-固相二相流改组进行检测，不然有或许得出不正确的测验成果或许对仪器形成不行修正的危害。

检漏设备时刻参数的设定决议了检测节拍，应在满意检测需求的情况下尽量缩短，以进步功率。机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出,污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。充气时刻能够参阅检测曲线，一般设定为能到达设定压力后再添加1~2秒。平衡时刻调查直压面目一新率稳定在某个值后即可，检测时刻姑妄言之选用速率办法一般设定为能调查到显着压降曲线的时刻。