真空腔体加工的注意事项
焊接是真空腔体制作中的环节之一。通常采用弧焊来完成焊接,可避免大气中熔化的金属和氧气发生化学反应而影响焊接质量,弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷射保护气体气,以防止熔化后的高温金属发生氧化反应。
超高真空腔体的弧焊接,原则上必须采用内焊,即焊接面是在真空一侧,以免存在死角而发生虚漏。真空腔体不允许内外双重焊接和双重密封
个大气压在1cm2的面积上产生约1kgf的压力,对直径20cm的法兰来讲,就是1t的压力。圆筒或球形的腔体,由于构造的特殊性使得压力分散,腔体的壁厚2~4mm就不会变形。
但是,对于方形腔体,侧面的平板上要承受上吨的压力,必须通过增加壁厚或设置加强筋,才能防止变形。
真空腔体加工检漏的办法
一、真空封泥检测法
用真空泥封住的漏点,此时要注意观察真空度的改变,假如贴上真空泥之后真空度上升较快,拿掉之后又有了显着的下降,这说明就是一个漏点哦。然而,这个办法在实际检测顶用的比较少
二、真空计检漏法
部分真空计的读数与气体种类有关,例如电离真空计,热偶计。标准钟形罩或柱形腔体的可选直径是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。用合适的气体或许液体做示漏物质,这些真空计就成了探测器,一般镀膜机上都会有真空计,在实际使用中也是比较常用的检漏办法。热偶计的示漏物质有二氧化碳,丁烷,酒精等,热偶计的反响比较慢,要仔细观察。用于电离计的示漏物质主要有氦,,酒精等。
真空腔体优势及特性
——按照客户要求,加工订制;
——一对一专业出图设计;
——可配套真空机组系统;
——耐高温、耐腐蚀;
——高质量、;
加工工艺,完全采用真空焊接技术拼装焊接;
先进的真空捡漏设备,更加保证产品的优越性;
超高真空主要应用在离子镀膜、高真空半导体设备、实验室设备等对环境要求极高的真空领域。
我公司采用三维建模软件,按照实际比例建立3D模型,根据客户文字、语言草图等需求表述,专业设计出适合客户所需产品方案(在方案定稿之前所有设计不收取任何费用)。
为了生产出匹配客户需求的产品,需要告知我公司以下几个问题点:
1、产品在使用过程中是否有温度产生,高温和低温分别是多少摄氏度,是否需要通水或液氮冷却等内外在因素。
2、对产品材质是否有特殊要求,真空领域腔体常用材质为:碳钢、铝、304不锈钢、316不锈钢等
3、产品的链接方式,抽真空的方式,抽真空所用的真空泵等
4、腔体真空度的要求,腔体抽完真空以后是否需要冲入保护气体或其他气体。
通常常见真空腔体技术性能:
材质:304不锈钢或客户材质。
腔体适用温度范围:-190℃~+1500℃(需加水冷却)
密封方式:氟胶“O”型圈或金属无氧铜密封圈
出厂检测事项:
1、真空漏率检测:标准检测漏率:1.3*10-8Pa●L/S
2、水冷水压检测:标准检测压力:8公斤24小时无泄漏检测。
内外表面处理:拉丝抛光处理、喷砂电解处理、酸洗处理、电解抛光处理和镜面抛光处理等。