真空检漏技术

真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。类型1：射束泄漏在使用示踪气体检漏时，有时可能只能定位极狭窄区域。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。

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充气开关柜检漏设备  

由于工件内外压差不能大于0.04Mpa,抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压，如果压力差超过设定值，则抽速较快的泵自动停止，等压力差达到规定要求时，泵自动运行，直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。真空箱式氦检漏系统概述本设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。系统同时具有自我诊断与报警功能，显示各种故障信息。

电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能，以及急停按钮，确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。为了保证工件的安全，系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式，以防止传感器失效而对系统造成的伤害。

结构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统，分散与集中控制相结合，层次分明、成本低廉、维护方便。上位机采用工控机，用于向PID发布指令、系统运行状态集中管理。

控制系统同时具有自我诊断与报警功能，显示各种故障信息。控制系统同时具有自我校准、连锁保护和报警功能，确保系统本身运行安全可靠和被检工件的安全。

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氦气检漏设备的特点和优点

说到氦气检漏设备的特点，首先，我们还需要注意核心部件分子泵，使用原装进口的检漏仪专用的分子泵。美国AD放大器用于有效降低氦气检漏设备的噪声并提高氦气检漏设备的灵敏度。 180度非均匀磁场质谱仪设计用于聚焦和高灵敏度。

氦气检漏设备的检漏口具有较高的耐压性，检漏率范围广，可检出较大的泄漏和较小的泄漏。 离子源灯丝采用氧化钇铱金丝，寿命长，灵敏度高。 独特的三屏切换，信息替换更丰富，检漏更方便； 它具有快速氦气清洗功能和快速响应功能。

氦气检漏设备可实现一键归零； 采用全自动液晶触摸彩屏显示，实现智能自动化，操作更方便，简单可靠； 中英文菜单，菜单可以一键实现，实际使用效果突出。

氦质谱检漏仪的基本原理与结构

氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。6、如果氦气浪费严重，可以将使用过程中浓度不合格的氦气进行提纯7、PLC控制，触摸屏操作，自动检测。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通,因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通,因

此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。

机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出,污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。