真空检漏技术
真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术,相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置,以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。质谱室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和机械泵之间,利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点,氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。
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用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氮信号迅速消失以便继续进行检漏,提高了仪器的检漏效率。
2.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好,然而由于氢一方面有 危险,另- -方面在油扩散泵中,由于油受热裂解会产:大量的碳和氢,使氢本底极高且波动大,以致灵敏度大大降低,所以很少采用。
检漏设备在检测时需要留意的事项
运用检漏设备检测气密性的时分,留意不要随意拔下配管。其在加压状态下,制止取下衔接仪器和减压阀之间的一个接头和配管。也正是由于如此,其很多的压缩空气吹出,这样来讲的话,其实也便是会对人形成很大的损伤;再者,其在反常状态下其实也便是要制止进行运用。本设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏、SF6及氮气充注,首先对工件进行真空内外压强抽空,真空法判大漏。
检漏设备没有被测物或者是衔接配管的时分,其实也便是不要进行检测。否则的话,它从检漏仪走漏出的很多压缩空气来讲,这样来讲,其实也便是会对人形成很大的损伤;在走漏测验完毕的时分,记住把空气彻底扫除洁净之后,其实也便是要撤除被测物。