氦质谱检漏原理

氦质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体氦气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15Pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。类型2：不明显的液体泄漏对产品进行液体泄漏测试时，结果可能是产品不存在泄漏，但如果用示踪气体检漏法进行检测，就能够可靠地发现泄漏。氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室中将气体电离,这些离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力作用下发生偏转,由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性，偏转半径各不相同，在挡板的作用下，氦检漏仪的收集板只允许带正电的氦离子被接收到，单位时间到达收集板的氦离子对应于一个电流信号，这个电流信号正比于进入到达收集板氦离子的数量，电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上，其大小反映了泄漏点的漏率，通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。

氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气,是因为氦气具有以下优良特性：

①氦气在空气中的含量少，体积含量为5.24×10-6，如果氦气在环境中的含量超过标准，可以比较容易地探测到极微量的氦气；

②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除；

③氦离子荷质比小，易于进行质谱分析；

④氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备；

⑤氦气无毒，不凝结，极难容于水。

今天科创真空小编和大家分享的是氦质谱检漏的工作原理，希望对您有所帮助！

真空箱式氦检漏系统【工作环境】

科创真空——专业真空箱氦检漏供应商，我们为您带来以下信息。

工作环境:

1、长×宽×高（设备占地面积约）：依据实物实际面积为准。

2、电源：380 V±38 V，50 Hz±0.5 Hz，约22KW；

3、压缩气源及减压器：0.6～0.8Mpa氮气或干燥清洁压缩空气；

4、待检工件要求清洁、干燥。

5、环境温度：   5 ℃ ～ 35 ℃；

6、相对湿度：   ≤80%；

7、氦气源及减压器：氦气纯度为  99％。

8、设备应安装在通风良好的厂房内。

空调检漏系统

不同类型的泄漏有着不同的表现。泄漏处的几何结构、压力、材料、湿度、温度以及流量都是影响泄漏表现的因素。过多干扰因素给检漏工作带来了很大的挑战。

以下三种难检测类型是小编搜集和分析的案例。

类型 1：射束泄漏

在使用示踪气体检漏时，有时可能只能定位极狭窄区域。与此同时，您却得到泄漏指示，但是与测试对象远离(几英尺/分米)，因而原因不明。

您发现的泄漏可能是非常狭小且高速射出示踪气体细束，这几乎跟激光器射出的窄激光束的情形一样。离泄漏点越远，射束就散开得越大，但即便距离泄漏点相当远的距离，射束可能依然非常细窄。

气体射束可能撞到操作员或周围的结构并发生“回弹”，从而导致操作员弄不清楚射束的真实来源位置。如果注意到这种难以检测的泄漏，就可以节省宝贵的检测时间。

类型 2：不明显的液体泄漏

对产品进行液体泄漏测试时，结果可能是产品不存在泄漏，但如果用示踪气体检漏法进行检测，就能够可靠地发现泄漏。

漏孔可以将漏液以非常缓慢的速度送到泄漏处的表面，以致于液体在到达物体外部的表面时，即被蒸发。液体蒸发速度非常快，在泄漏点无明显痕迹。

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用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

1、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氮信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

2.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好，然而由于氢一方面有 危险，另- -方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产:大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大,以致灵敏度大大降低，所以很少采用。