氦质谱检漏原理

氦质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体氦气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15Pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室中将气体电离,这些离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力作用下发生偏转,由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性，偏转半径各不相同，在挡板的作用下，氦检漏仪的收集板只允许带正电的氦离子被接收到，单位时间到达收集板的氦离子对应于一个电流信号，这个电流信号正比于进入到达收集板氦离子的数量，电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上，其大小反映了泄漏点的漏率，通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气,是因为氦气具有以下优良特性：

①氦气在空气中的含量少，体积含量为5.24×10-6，如果氦气在环境中的含量超过标准，可以比较容易地探测到极微量的氦气；

②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除；

③氦离子荷质比小，易于进行质谱分析；

④氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备；

⑤氦气无毒，不凝结，极难容于水。

今天科创真空小编和大家分享的是氦质谱检漏的工作原理，希望对您有所帮助！

真空箱式氦检漏设备

在电力行业高压环网柜生产中的应用

真空箱式氦检漏设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。

一、内腔表面光洁度（现设备腔体都是用的热板）固光洁度镜面处理达到“▽7”

做为设备验收标准。

二、腔体外部面板烤漆处理确保色泽均匀、亮度提升，加强筋及焊口、焊接时残留焊瘤、焊渣、上漆时进行多面抛光研磨处理。

三、设备腔体部分选用SS304板10mm厚，腔体法兰选用SS304板成活30mm.加强筋选用30mm*120mm.门面板成活15mm.确保腔体部分厚实、美观。以此数据作为验收标准。

四、设备外围护网选用40mm*40mm*5mm方管。网格选用φ8mm*8mm确保护栏厚实美观。（漆色执行用户技术要求外观颜色）

七、控制柜操作台材料选用2.5mm板材。喷塑涂层外观喷涂后距离300mm.自然光或40W日光灯下视线与涂层45°角观察表面平整、光亮、流平性好。首先是设备在运往用户工厂后根据技术协议逐条验收，之后进行操作、维修等技术培训，验收合格后双方签字生效。桔纹手感不明显。不得有流痕，麻坑、缩孔、颜料se斑等缺陷，厚度50-80μm。操作台抽屉进出顺滑、平稳。依据以上作为验收标准。

八、工件小车托盘（见设备图纸作为验收依据）

期望大家在选购氦检漏设备时多一份细心，少一份浮躁，不要错过细节疑问。想要了解更多氦检漏设备的相关资讯，欢迎拨打图片上的热线电话！！！

真空箱式氦检漏系统

科创真空专业生产、销售氦检漏设备，我们为您分析该产品的以下信息。

概述

本设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。真空箱氦检漏真空箱氦检漏，根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能、迅速准确的判断工件的泄露情况。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大于0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的氦气回收循环使用，后向工件内充入规定压力的SF6和氮气工作气体。

回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。当然还有许多其它方法，这些方法灵敏度一般达不到或只能勉强达到国家标准，或者说，只能检大漏,有的不能检出漏在哪里，漏多少等弊端。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性，将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF6压缩机串联运行，直至达到回收终压力。

性能特点

1、安全

★ 电气系统具有自我检测、连锁保护和报警功能，确保系统本身运行安全可靠和被检工件的安全。

★ 真空箱门设安全光电保护装置，确保操作者安全

★ 氦气示踪安全环保。

★ 储气罐和压缩机出口配置安全阀保证系统安全。

2、高灵敏度

★ 检漏精度高。

★ 抑零功能，消除氦本底影响。