真空腔体

真空技术主要包括真空获得、真空测量、真空检漏和真空应用四个方面.在真空技术发展中,这四个方面的技术是相互促进的.

随着真空获得技术的发展,真空应用日渐扩大到工业和科学研究的各个方面.真空应用是指利用稀薄气体的物理环境完成某些特定任务.有些是利用这种环境制造产品或设备,如灯泡、电子管和等. 这些产品在使用期间始终保持真空,而另一些则只是把真空当作生产中的一个步骤,产品在大气环境下使用,如真空镀膜、真空干燥和真空浸渍等.

真空的应用范围极广,主要分为低真空、中真空、高真空和超高真空应用.

真空腔体除尘过滤方式及过滤装置大家了解多少呢？

有些真空工艺会产生大量的尘土，如果尘土随被抽气体进入油封真空泵内混在泵油中，会像研磨剂一样加速泵腔内零件的磨损，对泵转子和泵腔造成磨损和损坏，堵塞油路或使泵无法运转，如果尘土进入真空阀门则会使密封失效而泄漏，因此尘土的规避和过滤己成为增加真空腔体的使用寿命，增加生产率的关键问题，在有尘土的真空系统中，要采用尘土过滤器。这些产品在使用期间始终保持真空,而另一些则只是把真空当作生产中的一个步骤,产品在大气环境下使用,如真空镀膜、真空干燥和真空浸渍等。

在尘土量较少时，可以由泵油过滤系统滤除，但尘土量较大时，为不让真空泵损坏，让真空泵的正常运转要使用除尘器。真空腔体加工厂家解释说常用尘土过滤方法有以下几种：

（1）旋风离心式。进气口与筒体成偏疼放置，尘土随气流旋转，因离心力效果而沉降在过滤器的底部。

（2）油淋式。在油泵的效果下，使真空泵油从除尘器的顶部高速喷下，油雾与上升的气流相互效果吸附，混在气流中的尘土与油一同沉降至油池。

（3）油湿介质粘附式。尘土在气流效果下磕碰用真空泵油浸湿的介质外表而被粘附，常用介质有环状或颗粒状陶瓷、金属丝条等。

（4）介质阻挠式。使用介质的机械阻挠效果过滤尘土，常用介质有金属丝网、天然或合成纤维、多孔金属、多孔塑料等。

（5）静电吸附式。使用真空中气辉光放电构成等离子体，尘土在等离子体中附着电荷，在电场力效果下被驱向电极外表而集。

（6）混合式。将以上几种过滤形式进行组合构成混合的过滤形式。

半导体真空腔体制造技术 

真空腔体在薄膜涂层、微电子、光学器件和材料制造中，是一种能适应高真空环境的特殊容器。真空腔体通常包括一系列部品——如钟形罩、基板、传动轴以及辅助井——这些构成一个完整的真空腔体。

复杂的真空腔体通常需要定制，即针对应用终端进行专门的设计和制作。某些常见的真空腔体已经过预先设计，如手套箱、焊接室、脱气箱、表面分析真空腔等。例如脱气箱和手套箱一般采用低真空环境，可用于焊接，或用于塑料制品、复合材料层压板、封装组件等的脱气。烘烤办法有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐子中。

真空设备包含很多组件，如真空腔体，真空密封传导件，视口设置，真空传感器，真空显示表，沉积系统，蒸发源和蒸发材料，溅镀靶材，等离子刻蚀设备，离子注入设备，真空炉，专用真空泵，法兰，阀门和管件等。真空设备常用于脱气，焊接，制备薄膜涂层，生产半导体/晶圆、光学器件以及特殊材料等。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%～20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、无磁性、焊接性好、导电率、放气率低和导热率低、能够在-270～900℃工作等优点，在高真空和超高真空系统中，应用较广。