氦质谱检漏的应用

氦质谱检漏常用的操作方法

板式换热器的体积及换热面积较大，如果单依靠氦质谱检漏仪抽取真空，其不能满足检漏口真空度的要求，这样需要另接抽真空机组。板翅式换热器的氦质谱检漏一般采用喷吹法和钟罩法，如检查内漏还可以采用吸入法进行检漏。

喷吹法

该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向漏孔喷吹氦气。当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。

氦质谱检漏仪

吸枪法

吸枪法是先向压力容器装置中充入一个以上的大气压的氦气或氦气与其他气体的混合气，从压力容器装置的外部检测从漏孔泄漏到外部的氦气，进而发现漏孔。

吸枪法（正压法）检漏，用纯氦检时，可使用氦气回收装置，重复使用，以降低使用成本。或使用浓度不低于5~10%的氦气混合气体，使用完后，可直接向大气中排放，要注意周围环境中的氦气的浓度，注意周围环境中空气的流动情况，因为这会影响到吸枪法的检测精度。吸枪法（正压法）检漏与卤素检漏极为相似，但应注意的是容器内所充的示踪气体是不同的，即使有相同的漏率值，其意义也是不同的，能够区分这一点很重要。除实验测试比较法以外另有计算式Q1η1= Q2η2（Q为气体的泄漏流量，η为气体的粘度系数），Q1M11/2= Q2M21/2（M为气体的分子量）。吸枪法检漏中应注意以下几个问题：

1、灵敏度受连接管道的流导的限制。

2、初次检漏时、被检件体内切勿充入过高压力的氦气。因为如果有漏孔，氦气会从被检件物中漏出，造成较大浪费，而且氦气到处扩散，给检漏仪带来非常大的干扰。因此，一般应先向被检件物内充以低压力、低浓度的氦气，再充入高压力，高浓度的氦气，对小漏孔进行检漏。如果存在较大漏孔时，可对检件体先进行加压水中发泡法检大漏，这样既可以减少氦气的浪费，因为氦气较贵（不同浓度的价格也不同），又可避免对氦检漏仪的氦的损害。

高压开关检漏——氦质谱检漏仪

高压电器行业提出的《生产63kv及以上GCB与GIS的必备条件》提出了产品符合技术条件和安全性。高压开关设备使用SF6气体作为绝缘灭弧的介质，产品要求开关内部的SF6气体泄漏量要小，也就是要很好的密封性。所以再生产过程中就要对部件以及出厂整机做检漏，高压电器采用的氦质谱检漏仪的氦质谱法比较方便，易操作，检漏效果也得到认同。

卤素检漏仪检漏是过去常用的方法，由于灵敏度低，难免发生泄漏和误检，使总装后的产品气密性达不到要求，导致返工，不但浪费了人力物力，也耽搁了生产周期。由于采用了氦质谱检漏仪弥补了传统检漏的不做，同时可以检漏漏点和漏率。

氦质谱检漏仪的检漏方法根据被检工件的情况而定的：

1.对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦，同时观察漏率显示，一大增大，就说明工件不合格。

2.对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。先用辅助抽空系统抽至5Pa以下，关掉抽气阀，打开检漏阀，进行检漏。漏率超过值即为不合格。

3.对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，利用吸枪在被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。

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