真空箱式氦检漏设备
在电力行业高压环网柜生产中的应用
真空箱式氦检漏设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。
一、内腔表面光洁度（现设备腔体都是用的热板）固光洁度镜面处理达到“▽7”
做为设备验收标准。
二、腔体外部面板烤漆处理确保色泽均匀、亮度提升，加强筋及焊口、焊接时残留焊瘤、焊渣、上漆时进行多面抛光研磨处理。
三、设备腔体部分选用SS304板10mm厚，腔体法兰选用SS304板成活30mm.加强筋选用30mm*120mm.门面板成活15mm.确保腔体部分厚实、美观。以此数据作为验收标准。
四、设备外围护网选用40mm*40mm*5mm方管。网格选用φ8mm*8mm确保护栏厚实美观。（漆色执行用户技术要求外观颜色）
七、控制柜操作台材料选用2.5mm板材。喷塑涂层外观喷涂后距离300mm.自然光或40W日光灯下视线与涂层45°角观察表面平整、光亮、流平性好。桔纹手感不明显。不得有流痕，麻坑、缩孔、颜料se斑等缺陷，厚度50-80μm。操作台抽屉进出顺滑、平稳。为了保证工件的安全，系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式，以防止传感器失效而对系统造成的伤害。依据以上作为验收标准。
八、工件小车托盘（见设备图纸作为验收依据）
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真空箱式氦检漏系统
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机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空箱：采用不锈钢材质制造，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，保证了良好的本底和ji少的藏气，提高了真空箱的抽空效率。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。
1.3 检漏单元
真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元，氦质谱检漏仪采用进口产品，自动校准漏孔。技术成熟，性能稳定，安装维护方便，使其和真空箱连接更加协调紧密。
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm)， 在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也
就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
2、氦的质量小(相对分子质量为4)，易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
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