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氦质谱检漏仪是否有精度级别一说？

2021.11.10

所谓的精度终指向的是--测试氦分压 （微观为个数，宏观则表现为在容器壁上的压力）（空气中5ppm氦气）
（1）吸枪质谱检漏，假定流量为300 sccm， 则检漏仪的真实本底为 Q=PV*d(t)=2.5E-5mbarl/s,但行业中吸枪式都标准在常压情况下能测到E-7，是因为加入了软件滤波（抑零）等。
（2）真空法，氦本底=分子泵抽速（辅助泵有则加上）*腔体内氦浓度*入口处压力，有很多外部条件。

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