构成高真空排气系统的部件主要是真空系、真空阀门、冷阱、真空计等。现暂且不谈它们的基本技术,而仅就排气系统的使用做一些说明。
真空泵的种类和日常管理：是现在广泛使用的真空泵的种类及其工作原理。表中记载了常用压强范围、日常在运转初期和运转中应该注意的地方、以及处于停止状态时所应有的压强状况。 真空排气系统和使用上需注意的地方；
具有代表性的真空装置和使用压强范围以及较近配用的真空排气系统。 即使是同样名称的装置,如果所使用的压强范围不同,那么其排气系统的组成也将发生变化,但是在此只表示出比较大型装置的排气系统。
使用于清洁真空的排气系统 实验装置及蒸镀装置,用油旋转真空泵和油扩散泵的排气系统,可以很容易获得10～-5至10-6乇的真空度。如果使用液氮冷阱使压强进一步下降,使用烘烤装置排出由真空容器放出的气体,那么也可以获得10～-6至10～-9乇的真空度。
京公网安备 11011402012516号
在线客服
400-188-1915 / 185-1082-6675
bjkcvac@sina.com
