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分子泵机组概述

2022.05.18

分子泵组是分子泵与前级泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ~ 大气) 工作。

分子泵机组可定制各种规格的接口，机组由分子泵，前级机械泵，隔断放气阀，真空计，控制电源等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于联接，性能可靠，可广泛用于表面分析，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域。

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