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分子泵组是分子泵与前级泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ~ 大气) 工作。
分子泵机组可定制各种规格的接口,机组由分子泵,前级机械泵,隔断放气阀,真空计,控制电源等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠,可广泛用于表面分析,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各领域。