2022.08.16
氦检漏系统是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高,用得较普遍的检漏仪器。
氦检漏系统由离子源、分析器、收集器、冷阴及电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
1.较小的检漏率:即氦检漏系统能检测到较小的检漏率。
2.响应清除时间:当一定流量的探测气体进入氦质谱泄漏检测器时,电子系统和真空系统需要一定的响应时间,泄漏指示器可以达到大值,泄漏指示器不能立即恢复到零,需要一定时间才能下降,通常由于氦吸附和解吸,去除时间略长于响应时间。
3.启动时间:氦检漏系统开启电源与能检测到泄漏之间的时间。