氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口，性能稳定可靠。秀长的体积，的性能，适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理,采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术，实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换,具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。
氦质谱检漏仪特点：
1.检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内；
2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；
3.多种大漏保护模式，充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击；
4.大漏检测功能：可通过预设压力，抽空时，达不到预设值，检漏仪自动报警提示。
5.多种计量单位选择，检测数据实时更新，直接输出生成Excel表格。
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