真空箱氦检漏设备一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质分析器，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
1.操作方便：体积小，重量轻，结构紧凑，操作面板简单；
2.性能高：真空箱氦检漏设备采用了进口检漏仪仪分了泵与高性能的质谱系统，灵敏度度高，检测压强高，响应时间快；
3.功能强大：多种模自动切换，具有权限管理功能；
4.可靠性高：采用抗氧化性的氧化钇铱灯丝提高灯丝寿命，系统具有强大的保护功能；
5.多种接口：具有RS232/485，外控IO，遥控器接囗以及外部规管接口等用户接囗。
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