1.操作方便：体积小，重量轻，结构紧凑，操作面板简单；
2.性能高：氦检漏设备采用了进口检漏仪仪分了泵与高性能的质谱系统，灵敏度度高，检测压强高，响应时间快；
3.功能强大：多种模自动切换，具有权限管理功能；
4.可靠性高：采用抗氧化性的氧化钇铱灯丝提高灯丝寿命，系统具有强大的保护功能；
5.多种接口：具有RS232/485，外控IO，遥控器接囗以及外部规管接口等用户接囗。
氦检漏设备是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。
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