1、系统功能
本系统采用干式检漏法对工件进行检漏，主要具备以下功能：
Ø 对真空箱抽取真空；
Ø 配置氦质谱检漏仪，具备氦检漏功能；
Ø 配置精密压力传感器，可通过压力变化法的方式进行检漏；
Ø 配置热偶传感器，可实时监测真空箱内温度变化；
Ø 通过该装置判断出被检工件的合格与不合格。
2、系统技术参数
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参照标准： |
EJ/T1096-1999 |
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真空箱内腔尺寸及容积： |
500x500x200mm长宽高，约50升 |
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对工件接口的要求： |
具备可密封性 |
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工件板材质： |
304不锈钢、铝 |
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可检漏率： |
≤5x10-4至1.0x10-12 Pa m3/s |
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真空箱氦检漏真空： |
≤20 Pa |
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系统自身漏率： |
≤10-10 Pa m3/s |
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设备校准： |
可自动操作内置漏孔校准 |
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