真空箱式氦检漏设备
适用对各类被检要求气密性漏率的产品（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的氦气回收循环使用，向工件内充入规定压力的SF6工作气体。系统严格按照客户的要求设计制造，采用模块化的设计，充分考虑客户的检漏要求，同时也尽可能采用标准化的模块和部件，保证了系统的可靠性和可维护性。设备适应用电力行业,家用空调，制冷行业，汽车行业，新能源行业的气密性检测、应具有气体充注。大漏判定功能，微漏定量检漏功能，工件泄漏总的判定功能，并能满足连续生产的需求，具有较高的自动化程度，操作简便、可靠、安全。
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，用这种技术检漏，简便易操作，仪器反映灵敏，精度高，不易受其它气体的干扰，以上列举的方法是检漏技术领域里经常用道的方法，包括了从小件检漏到大件检漏，从确定漏孔检漏到确定漏率检漏，比较的列举了各种检漏方法，相信在工程实际应用中有很好的参考价值。
氦检漏设备
密封器件的氦质谱细检漏技术细分为压氦法(即背压法) 和预充氦法两种。D A Howl 等首先给出了压氦法测量漏率Re 与等效标准漏率L 的关系，并指出该关系对应的气流状态为分子流，文献指出将压氦法测量漏率与等效标准漏率关系式中个括号删掉，就得到预充氦法的相应关系式。无论是压氦法还是预充氦法，在公式推导中都假定候检期间环境大气中不存在氦分压。然而，实际上地球干洁大气中含有少量氦气；压氦时通常会产生检漏用氦气对环境大气的污染，使环境氦分压超过地球干洁大气中的氦分压。因此，推导和分析环境大气中氦分压对压氦法和预充氦法的影响是十分必要的。
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