真空除气储存柜的介绍
真空储存柜的真空系统,包括有箱体,控制器,若干个腔室,光电开关,真空计,一,二高真空挡板阀和粗,精抽真空管路,粗,精抽真空管路一方面与每个腔室上的一,二高真空挡板阀之间分别对应连接有一,二抽气管路,另一方面分别对应连接有粗,精抽泵;控制器分别与光电开关,真空计,一,二高真空挡板阀和粗,精抽泵电连接.
本设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可独立工作。具备以下主要功能:
硅片除气装置原理
工作中旋转的转子将吹入铝水中的惰性气体(氮气)破碎成大量的弥散气泡,并使其分散在铝液中;气泡在熔液中靠气体分压差和表面吸附原理,吸收熔液中的氢,吸附氧化夹渣,并随气泡上升而被带出熔液表面,使熔液得以净化;由于气泡细小弥散,与旋转熔液均匀混合,并随之转动呈螺旋形缓慢上浮,与熔液接触时不会形成连续直线上升产生的气流,从而显著提高了净化效果。 气和氮气都可以作为对铝液进行除气。
真空除气储存柜操作
1、首先把机台与真空泵管道接好;
2、接上与机台电源相符的空开或插座,请注意电源一定要相符;
3、打开电源开关,电源正常时,仪表通电正常显示,打开电源开关后 ,电源指示不亮, 检查电源故障;
4、打开计时器开关,计时器通电后请设定好需要计时单位及数据,时间达到后同时有报警功能,时间达到后需要报警功能,请打开报警开关,若不需要常关闭;(注:此时间控制抽真空,时间达到停止抽真空)。