氦气检漏的主要参数及优势
1、关键零部件集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；
2、真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、；
3、特有的清氦系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；
4、实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；
5、可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯，极大降低氦气损耗（功能可选）；
6、可同时检测多工件，并能按照需求自动判断出具体的有漏工件；
7、定制的的密封接头，可靠稳定，减少误判。
8、触摸屏实时显示监测数据和运行参数，监控一目了然。
9、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。
今天和大家分享的是氦气检漏的主要参数及优势，希望对您有所帮助！
半导体设备及材料需要检漏原因
1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。
4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。
氦检漏设备
氦罩法
在这种方法中，用塑料薄膜包裹被测容器，首先除去罩子中的空气，然后充入氦气或氦气混合气体，检漏仪与被测容器的内部连接，当检漏仪显示泄漏率时，指示泄漏。这个泄漏率称为总泄漏率。总泄漏率是所有泄漏率的总和。如果总泄漏率不超过标准值，则每个泄漏率不超过标准值；如果总泄漏率超过标准值，检查每个点的泄漏率是否超过标准值。然后调整修改超过标准值的泄漏孔，直至达到合格标准。
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