影响真空绝缘水平的主要因素
空隙间隔
真空的击穿电压与空隙间隔有着比较清晰的关系。试验标明，当空隙间隔较小时，击穿电压跟着空隙间隔的添加而线性添加，但跟着空隙间隔的进一步添加，击穿电压的添加减缓，即真空空隙发作击穿的电场强度跟着空隙间隔的添加而减小。当空隙到达一定的长度后，单靠添加空隙间隔进步耐压水平已经好不容易，这时选用多断口反而比单断口有利。
一般以为短空隙下的穿主要是场致发射引起的，而长空隙下的的穿则主要是微粒效应所致。
真空腔体常用的清洗方法
1、超声波清洗
超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的.
2、电解侵蚀清洗
电解侵蚀清洗类似于电解抛光,是指在溶剂中利用电解作用,清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物,主要用于化学稳定性较高的合金部件,如不锈钢,耐热钢等.
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真空设备应用领域广泛。如何处理各种复杂问题?
现在真空设备的应用领域愈来愈广，很多是与电、电磁、水、气源和制冷有关的。不论是真空炉还是镀膜设备都会碰到电气部分出问题。相当多的情况下不是电源部分的问题，这一点让人不好理解。其中有的是机械装配中不细心造成的，有的是绝缘材料或结构上的问题。这时，不要急于下结论，不要急于拆卸设备，应认真分析故障现象或请教专门从事此项工作的人员。避免误拆误卸造成不必要的损失。有一台设备，工作时发生放电现象，经过对工作记录的分析和与操作者的交流，得出不同的结论，有人认为电源有问题，有人认为是装配过程的问题。，对设备进行了拆卸，重新装配后放电现象消除了。有一台磁控溅射镀膜机，下半部的产品明显好于上半部的，靶的外表看不出什么问题来，拿高斯计一试，上半部磁环退磁了。经检查原来是水路出了问题。调整了水路，换了磁环，产品上下一致的问题得到了解决。
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