北京科创鼎新真空技术有限公司

天津硅片除气装置-科创真空公司-硅片除气装置价格

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  • 主营产品:氦检漏设备,氦质谱检漏仪,LNG抽真空设备
  • 公司地址:北京市昌平区科技园区仁和路4号3幢321房间
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真空除气储存柜设备简介

本设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可独立工作。具备以下主要功能:

1. 对储存箱室抽真空;

2. 控制储存箱室恒压稳定;

3. 具备加热烘烤功能;

4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能;

5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能;

6. 具备自动和手动两种操作模式;

7. PLC控制,触摸屏操作


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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






真空除气炉的构成介绍

本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。

机械部分主要由以下两个单元构成:真空箱室单元、真空获得系统单元。

真空箱室单元由真空箱、真空测量装置、加热烘烤组件、管道阀门等组成。

真空箱:采用304不锈钢材质制造,分为上中下三个独立的真空箱室,其内表面在加工后经除油、电抛光处理,保证了较少的藏气,提高了真空箱室的抽空效率和极限真空。真空箱室外部有加强筋,保证真空箱室承压能力。每个真空箱室门中间部位各具有一个Φ100石英观察窗,真空箱室与真空获得系统采用柔性软管连接,方便快捷,并减少震动。真空箱室开门为上中下三开门,氟胶圈型式密封,向右侧侧开门。


高真空除气炉的特点

科创鼎新公司生产的高真空除气炉,真空度可高达10-7Pa,可用于半导体硅片的除气以及红外芯片、气密性封装、航空航天芯片等其他电子产品的封装。

高真空除气炉特点: 

① 极限真空度高;

② 控温精度高;

③ 更高的升温速率;

④ 更加智能化;

⑤ 可真空去除产品空洞与气泡;

⑥ 降低产品的氧化性;

⑦ 提高工艺室的洁净度。