北京科创鼎新真空技术有限公司

北京科创真空公司(图)-硅片除气装置公司-硅片除气装置

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  • 主营产品:氦检漏设备,氦质谱检漏仪,LNG抽真空设备
  • 公司地址:北京市昌平区科技园区仁和路4号3幢321房间
咨询热线: 400-188-1915 / 185-1082-6675
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信息详情

真空除气储存柜的技术参数

1. 腔室内尺寸:①②号宽1050x高200x深700mm  ③号宽1050x高380x深700mm;

2. 极限真空度:2×10-5Pa;

3. 加热烘烤:200-800℃烘烤除气功能,±3℃;

4. 整体结构型式:泵箱一体,三个腔室;

5. 观察窗:每一个箱室均配一个Φ100观察窗,材质为石英玻璃,透光好;

6. 控制方式:一室一泵配置,自动保持真空,可手动独立控制工作;

7. 异常报警功能:具有自动监控各部分的运行状态功能,异常诊断报警,故障诊断,并停止设备运行的功能。


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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






真空除气储存柜主要参数

1、炉型结构:卧式与立式,单室与双室或多室,炉体炉门采用双层水冷,前开门结构。由炉体、加热系统、真空系统、充气系统、水冷系统、电控系统组成。

2、极限温度:1500℃

3、工作区尺寸:按照用户需求定制

4、设备总功率:20-100 KW(含加热系统、真空机组、制冷机)

5、电源频率:50Hz

6、电源电压:三相380 V(±10V)


真空除气炉、真空存储柜的使用环境

使用环境

① 设备占地面积约:长2米,宽1.6米(约3.2平米)高1.95米;

② 电源:380 V±38 V,50 Hz±0.5 Hz,约15KW(外部电源用户自备);

③ 工件要求:无油污,无腐蚀性物质;

④ 环境温度:   5 ℃ ~ 35 ℃;

⑤ 相对湿度:  20%-85%;

⑥ 设备应安装在通风良好的厂房内。