真空除气储存柜的技术参数
1. 腔室内尺寸：①②号宽1050x高200x深700mm ③号宽1050x高380x深700mm；
2. 极限真空度：2×10-5Pa；
3. 加热烘烤：200-800℃烘烤除气功能，±3℃；
4. 整体结构型式：泵箱一体，三个腔室；
5. 观察窗：每一个箱室均配一个Φ100观察窗，材质为石英玻璃，透光好；
6. 控制方式：一室一泵配置，自动保持真空，可手动独立控制工作；
7. 异常报警功能：具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，故障诊断，并停止设备运行的功能。
真空除气储存柜设备用途
本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。
机械部分主要由以下两个单元构成：真空箱室单元、真空获得系统单元。
真空除气储存柜设备主要应用于金属材料与非金属材料的高真空热处理。主要应用行业与工艺：半导体硅片除气；3D打印金属工件与合金材料的高真空热处理；X射线管高真空除气。
真空除气储存柜维护要求
真空除气储存柜，又称真空存储箱，用于各类金属材料，化工原料，半导体芯片、电路板、电子器件，电池片、电池材料等其他易氧化材料的真空存储，防潮、防氧化。也可用于胶水的真空脱泡、除气等作用，经常在真空灌胶消气泡的工艺过程中应用。
1、放入需要保存的产品，快速抽真空到极限真空，可能逐渐回压到一个平衡值，长期保存；
2、放入保存的产品后，启动程序，快速抽至真空下限值，持续保压如箱内回压到上限值之后，会自动启动抽真空至下限值；
3、抽真空至下真空度后，自动充入氮气至常压，在无氧环境下保存产品。
为了提高空间的利用率，通常可以分为两腔，三腔，四腔，六腔体等等。根据产品的存放要求，存放时间和工艺产线要求，程序可以做不同的调整。
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