北京科创鼎新真空技术有限公司

半导体真空腔体加工哪家好-北京科创真空

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  • 主营产品:氦检漏设备,氦质谱检漏仪,LNG抽真空设备
  • 公司地址:北京市昌平区科技园区仁和路4号3幢321房间
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真空腔体优势及特性

真空腔体优势及特性

——按照客户要求,加工订制;

——一对一出图设计;

——可配套真空机组系统;

——耐高温、耐腐蚀;

——高质量、;

加工工艺,完全采用真空焊接技术拼装焊接;

先进的真空捡漏设备,更加保证产品的优越性;

超高真空主要应用在离子镀膜、高真空半导体设备、实验室设备等对环境要求极高的真空领域。

我公司采用三维建模软件,按照实际比例建立3D模型,根据客户文字、语言草图等需求表述,设计出适合客户所需产品方案(在方案定稿之前所有设计不收取任何费用)。

为了生产出匹配客户需求的产品,需要告知我公司以下几个问题点:

1、产品在使用过程中是否有温度产生,高温和低温分别是多少摄氏度,是否需要通水或液氮冷却等内外在因素。

2、对产品材质是否有特殊要求,真空领域腔体常用材质为:碳钢、铝、304不锈钢、316不锈钢等

3、产品的链接方式,抽真空的方式,抽真空所用的真空泵等

4、腔体真空度的要求,腔体抽完真空以后是否需要冲入保护气体或其他气体。

通常常见真空腔体技术性能:

材质:304不锈钢或客户材质。

腔体适用温度范围:-190℃~+1500℃(需加水冷却)

密封方式:氟胶“O”型圈或金属无氧铜密封圈

出厂检测事项:

1、真空漏率检测:标准检测漏率:1.3*10-8Pa●L/S    

2、水冷水压检测:标准检测压力:8公斤24小时无泄漏检测。

内外表面处理:拉丝抛光处理、喷砂电解处理、酸洗处理、电解抛光处理和镜面抛光处理等。



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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






动态泄漏

真空系统中有运动传递的地方会采用动密封,这些动密封结构,很有可能在静态的时候密封良好而运动的时候产生泄漏;比如采用橡胶轴封做动密封(阀杆与阀体之间)的阀门,就比较容易发生这种现象。这种现象发生的概率不高,不过由于检漏时阀门一般是处于打开或关闭的某一个状态,这种动态泄漏很难被发现。

对于非常关键的工艺,选择波纹管密封的阀门可以大大减小出现动态泄漏的概率;如果选用的还是轴封做密封的阀门,在检漏时



主机与附件有什么关系?

有一台离子渗氮炉,工作一段时间后出了问题,设备没动,操作工艺没变,就是工件不能进行离子渗氮。用户和厂家查不出问题的所在,感到困惑。经过试验和查找,确定是配套的供气管路出了问题。用户用的是氧气管,用户认为氧气管耐正压没问题,耐负压也一定没问题;其实不然。换管后问题解决了。我们建议国内生产企业在生产主机的同时为用户提供相应的配套装置。有时配套装置出的问题会影响主机。