氦气检漏的原理
大家都知道气分子内部结构稳定，化学性质并不活泼并且密度较小，由于这些特性氦气不会，也不容易和其他物质发生反应。因为这些性质，所以氦气经常被用来检漏。
其实任何可以感测气体分压之质谱仪，均可以作为真空系统漏气之侦测,通常为分子量较轻的气体，氦气渗透漏孔， 的质谱测漏仪，多将质普分析器固定在特定质量，通常为氦气的质量，以氦气为漏气体在欲侦测处到处喷氦气，观察质普是否改变，来办别是否有漏气，这是氦气检漏的原理。
氦质谱检漏
近年来，随着科学技术的飞速发展，氦质谱法检漏及其应用技术不断发展和完善。 世界各地的制造商推出了各种类型的氦质谱检漏仪，广泛应用于航空航天、电力电子、汽车、制冷和等行业。 综观新型氦质谱检漏仪的性能特点，氦质谱检漏仪正朝着高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等先进方向发展，这些特点满足了检漏应用的需要，推动了氦质谱法检漏技术的发展。
氦质谱检漏仪是否有精度级别一说？
所谓的精度终指向的是--测试氦分压 （微观为个数，宏观则表现为在容器壁上的压力）（空气中5ppm氦气）
（1）吸质谱检漏，假定流量为300 sccm， 则检漏仪的真实本底为 Q=PV*d(t)=2.5E-5mbarl/s,但行业中吸式都标准在常压情况下能测到E-7，是因为加入了软件滤波（抑零）等。
（2）真空法，氦本底=分子泵抽速（辅助泵有则加上）*腔体内氦浓度*入口处压力，有很多外部条件。
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