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一文了解涡旋真空泵动涡旋盘结构的特点


单面和双面为动涡旋盘上两面是否都有涡旋齿而言,动涡旋盘上只有一面有涡旋齿为单面涡旋泵,动涡旋盘上两面都有涡旋齿为双面涡旋泵。目前国内厂家的产品都为双面设计,国外厂家的产品大多为单面设计

与单面相比,双面涡旋泵有较高的抽速和自平衡轴向力的优点,但是由于很高的结构对称性要求,双面涡旋盘的加工制造比较困难

在双面涡旋真空泵的结构中,动涡旋中心要安装两个轴承,轴承和真空室直接相连,即使使用动密封,也会造成返油现象,污染真空环境和影响极限真空度,要考虑轴承因真空引起的变形,使用真空轴承,轴承长期在真空条件下工作,会降低轴承的寿命

双面涡旋真空泵中要求曲轴较长,增大了曲轴的加工制造难度和成本,如果曲轴稍有变形,就会在很大程度上影响侧向间隙,从而影响极限真空度,甚至出现碰齿现象。在单面涡旋真空泵中,轴承可与真空室隔开,清洁度和极限真空度提高;结构简单,动涡旋盘和静涡旋盘之间容易拆装,密封条的替换比较容易;曲轴较短,加工制造难度和成本降低。






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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






涡旋真空泵的应用领域  

涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:


品行业:升华、干燥、脱水、真空蒸发、真空保鲜、真空包装等。

科研院所:旋蒸、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试装置、风洞试验、真空环境模拟等。

电子光伏:浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。

航天航空:钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。

冶金行业:浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。

核工业:零泄露爪泵可抽除UF6气体












涡旋真空泵组成与工作原理

无油涡旋真空泵由泵头、电机、机座等构成。泵头含有动、定涡旋盘、曲轴、密封件、风扇和泵壳等。涡旋盘为圆形平面和其上伸出的一条或几条渐开线螺旋形盘壁组成,定涡旋盘与动涡旋盘组成涡旋盘付构成无油涡旋真空泵的基本抽气机构。工作过程中动、定涡旋盘互不接触,依靠相对运动形成容积不断缩小的新月形吸气腔和压缩腔,通过吸气、压缩、排气的循环,使气体从抽气口吸入、排气口排出,实现对被抽腔体抽真空。

主要用途

真空镀膜机,分析测试仪器,真空排气/回收装置,真空炉,排气台,高能束线,等离子清洗,检漏仪,真空包装机,真空吸附搬运。