逆流氦质谱检漏仪
逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。
氦质谱检漏仪
充氦法
的整体检漏就是可以用这种方法，将放入大型环模室中，利用环模设备的真空系统将环模抽成真空，先用辅助泵进行粗抽和预抽，在检漏时先通过机械泵将及充气管道抽成真空后，将氦气充入中，压力保持和工作的压力一致，开启氦质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器，就可以直接测量的漏率了。
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氦检漏设备
负压法
负压法是一种常见而方便的检漏方法。当进行氦气检漏时，氦被连接到充满氦气的瓶子中，并且使用喷将氦喷射到泄漏部分。如果氦气从泄漏孔流入压力容器装置，装置中氦气的分压将上升，泄漏率将显示在氦气检漏设备上。它是否合格取决于标准泄漏率。如果超过标准泄漏率，将被视为不合格。
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