涡旋真空泵的应用领域
涡旋泵已被广泛应用于半导体行业：薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业：同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业：材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医院设备行业：透析机、生物制备与药品制备。包装行业：食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统很好的配置。
一文了解涡旋真空泵动涡旋盘结构的特点
单面和双面为动涡旋盘上两面是否都有涡旋齿而言，动涡旋盘上只有一面有涡旋齿为单面涡旋泵，动涡旋盘上两面都有涡旋齿为双面涡旋泵。目前国内厂家的产品都为双面设计，国外厂家的产品大多为单面设计
与单面相比，双面涡旋泵有较高的抽速和自平衡轴向力的优点，但是由于很高的结构对称性要求，双面涡旋盘的加工制造比较困难
在双面涡旋真空泵的结构中，动涡旋中心要安装两个轴承，轴承和真空室直接相连，即使使用动密封，也会造成返油现象，污染真空环境和影响极限真空度，要考虑轴承因真空引起的变形，使用真空轴承，轴承长期在真空条件下工作，会降低轴承的寿命
双面涡旋真空泵中要求曲轴较长，增大了曲轴的加工制造难度和成本，如果曲轴稍有变形，就会在很大程度上影响侧向间隙，从而影响极限真空度，甚至出现碰齿现象。在单面涡旋真空泵中，轴承可与真空室隔开，清洁度和极限真空度提高；结构简单，动涡旋盘和静涡旋盘之间容易拆装，密封条的替换比较容易；曲轴较短，加工制造难度和成本降低。
涡旋真空泵
涡旋真空泵(也称涡流泵)归属于叶片式泵。涡旋真空泵根据转动的叶轮叶片热对流道内液体开展三维流动性的角动量互换而运输液体。旋涡泵叶轮具备开式和闭试二种，闭试叶轮叶片凹形槽内设立正中间挡板。开式叶轮无正中间挡板。
闭试涡旋真空泵构造
闭试涡旋真空泵构造关键由叶轮、泵壳、隔舌构成。图中流道两边(或一端)与進口或出口互通，称之为开式流道。叶轮上开了均衡孔，用以均衡轴向力。流液由通道进到，在叶轮推动下做竖向涡旋健身运动得到动能，由出口排出来，挨近出口侧叶片间液体随叶轮返回泵通道。
京公网安备 11011402012516号
在线客服
400-188-1915 / 185-1082-6675
bjkcvac@sina.com
