涡旋真空泵
涡旋真空泵由泵头、电机、机座等构成。泵头含有动、定涡旋盘、曲轴、密封件、风扇和泵殻等。涡旋盘为圆形平面和其上伸出的一条或风条渐开线螺旋形盘壁组成，定涡旋与动涡旋盘付构成无油涡旋真空泵的基本抽气机构。工作过程中动、定涡旋盘互不接触，依靠相对运动形成容积不断缩小的新月形吸气腔和压缩腔，通过吸气，压缩，使气体从抽气口吸入、排气口排出，实现对抽腔体抽真空。在多涡旋齿涡旋盘结构参数设计中，齿数的确定极为重要，应根据多涡旋齿涡旋盘几何模型得出不同齿数下的涡旋盘结构参数组合，通过多方案比较，确定好的涡旋齿数和涡旋盘结构参数。
涡旋式真空泵
涡旋式真空泵是新一代的真空泵。它具有很高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速，涡旋式真空泵是两条渐开线螺旋曲线盘构成，即一个静涡旋盘和一个动涡旋盘。动涡旋盘作偏心安装，静涡旋盘与动涡旋盘便形成月芽形腔体。随着动涡旋盘转动，月芽形腔体不断向里旋转压缩，然后从中间排出至出气口。动涡旋盘连续运转，气体不断从进气口吸入、压缩，由出气口排出，形成真空。
涡旋真空泵的真空泵度不够怎么办？
原因：电机供电不足导致转速不够；供水量不足；叶轮与分配板之间的间隙过大；机械密封破损导致漏水漏气；叶轮磨损过多；循环水排不出。
排除方法：检查供电电压是否在电机额定的电压范围内；加大供水量（必须控制在正确的范围内，否则会导致电机超载发热）；调小叶轮与分配板的间隙（一般在0.15—0.20mm）；更换机械密封；更换叶轮；检查出水口的管路。
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