真空检漏的具体方法
极限压力合格，升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点，通常在1×10-9~9.9×10-4Pa·m3/s之间。检漏步骤为：
①用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹氦气，遍针头移动的速度可以快些，对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏，在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。
②不按压气袋，用针头缓慢地对位置进行检查，漏孔会吸入针头中存有的少量氦气，观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化，找到漏率大且上升快的点即是漏点。
③向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格，可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封，然后向罩中喷入氦气，观察检漏仪的漏率变化，如果缓慢上升，说明被包裹的位置存在漏点。
真空腔体
真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他有机物，成为影响真空度的放气源。为实现超高真空，要对腔体进行150—250℃的高温烘烤，以促使材料表面和内部的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带，加热带的外面再用铝箔包裹，防止热量散失的同时也可使腔体均匀受热。
应急条件下设备出故障怎样处理?
常规的维修可以按部就班地去做，应急条件下设备出了故障，生产任务又急不可待，这种情况下，只要判断故障准确，采用手头上现有的材料，真空封泥、真空封蜡、704硅胶、真空腔板等一切可用的材料。只要与在制品不发生冲突，就可以进行修理。有一台外地产的新镀镜机，正常工作月余，停机一天真空室门自己打开了，用户急于恢复生产，自行拆检忙了两天，没有解决问题。经检查发现是真空室门有缺陷，用真空封泥堵住缺陷，使用户尽快地恢复了生产。有一台中频炉，低真空时工作正常，在6Pa时就放电，经检查发现是l放电造成的，根本解决问题的办法是大修，需时一周。根据用户急于使用的要求，用704硅胶封闭了l放电的，第二天就能正常生产。有一台真空设备，供热密封采用刀口法兰，用户不慎使无氧铜垫出现了“双眼皮”，造成漏气。该密封处的温度低于l100℃，用户急用，用焊锡将无氧铜垫焊平，再用乙醇将松香清洗干净，解决了该处的密封问题。应急的原则是在不损坏设备和不影响在制品的条件下做到设备能正常生产。
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