涡旋真空泵的工作原理
涡旋真空泵的工作腔是由一对型线共轭的涡旋盘付啮合安装组成。涡旋盘就是在盘面开有一个或几个渐开线螺旋槽的涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错组装在一起，动、静盘之间由防自转机构保证180°相位差，这样组成的一对涡旋盘副构成了无油涡旋真空泵的抽气机构。静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线(在横截面上是几个点)上接触形成几对月牙形封闭腔，动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动，接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气。曲轴每转一圈，就有一组新的月牙封闭腔形成，所以涡旋真空泵的吸气、压缩、排气循环在电机的带动下被连续重复,对被抽气体形成包容和强制输送。
涡旋式真空泵
涡旋式真空泵是新一代的真空泵。它具有很高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速，涡旋式真空泵是两条渐开线螺旋曲线盘构成，即一个静涡旋盘和一个动涡旋盘。动涡旋盘作偏心安装，静涡旋盘与动涡旋盘便形成月芽形腔体。随着动涡旋盘转动，月芽形腔体不断向里旋转压缩，然后从中间排出至出气口。动涡旋盘连续运转，气体不断从进气口吸入、压缩，由出气口排出，形成真空。
涡旋真空泵的工作原理
涡旋真空泵的工作腔是由一对型线共轭的涡旋盘副啮合安装组成。涡旋盘就是在盘面开有一个或几个渐开线螺旋槽的涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错组装在一起，动、静盘之间由防自转机构保证180°相位差，这样组成的一对涡旋盘副构成了无油涡旋真空泵的抽气机构。涡旋真空泵具有较高的压缩比，在较宽的压力范围内具有稳定的抽速，由于压缩腔容积的变化是连续的，因而驱动扭矩变化小，功率变化小，振动噪声低，这是其他类型的干式真空泵所不具备的。
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