吸氦法氦质谱检漏方法
吸氦法主要用于检查某些大型密封容器。如弹体、弹头、气罐、油罐等,先将容器抽真空,再给容器充入氦气(为了节省用氦量,可以用低浓度氦气) ,在氦质谱检漏仪的进气法兰处接上橡皮管,橡皮管的前端有直径很小的毛细管,使毛细管在充了氦的被检容器外壁的焊缝和密封接头等处移动,如果该容器有漏隙,经漏隙渗出的氦会被毛细管吸入,检漏仪就会响应。
氦质谱检漏仪是否有精度级别一说?
所谓的精度终指向的是--测试氦分压 (微观为个数,宏观则表现为在容器壁上的压力)(空气中5ppm氦气)
(1)吸质谱检漏,假定流量为300 sccm, 则检漏仪的真实本底为 Q=PV*d(t)=2.5E-5mbarl/s,但行业中吸式都标准在常压情况下能测到E-7,是因为加入了软件滤波(抑零)等。
(2)真空法,氦本底=分子泵抽速(辅助泵有则加上)*腔体内氦浓度*入口处压力,有很多外部条件。
氦泄漏检测应用
氦质谱检漏仪是以氨气作为示漏气体,对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便检测迅速等特点是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计,用氨气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子。