真空腔体加工的注意事项
真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体加工要考虑容积、材质和形状。
超高真空系统主要采用不锈钢材质。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%～20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、无磁性、焊接性好、导电率、放气率低和导热率低、能够在-270～900℃工作等优点，在高真空和超高真空系统中，应用较广。
为了减小腔体内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。超高真空系统的腔体，更多的是利用电解抛光来进行表面处理。
真空腔体
流体抛光是依靠高速流动的液体及其携带的磨粒冲刷工件表面达到抛光的目的。常用方法有：磨料喷射加工、液体喷射加工、流体动力研磨等。流体动力研磨是由液压驱动，使携带磨粒的液体介质高速往复流过工件表面。介质主要采用在较低压力下流过性好的特殊化合物（聚合物状物质）并掺上磨料制成，磨料可采用碳化硅粉末。
小漏和微漏怎么查?
小漏和微漏就比较难查了，大家常用的方法是利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏，比如或乙醇，用向的地方喷射或乙醇，喷到漏点时，电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了，也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，再喷射。好是反复几次，确认漏点。ZHC一1仪表也可以用上述方法来检漏，不同的是ZHC．1仪表能在旋片泵工作范围内进行检漏，而且不怕暴露于大气中。
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