动态泄漏
真空系统中有运动传递的地方会采用动密封，这些动密封结构，很有可能在静态的时候密封良好而运动的时候产生泄漏；比如采用橡胶轴封做动密封（阀杆与阀体之间）的阀门，就比较容易发生这种现象。这种现象发生的概率不高，不过由于检漏时阀门一般是处于打开或关闭的某一个状态，这种动态泄漏很难被发现。
对于非常关键的工艺，选择波纹管密封的阀门可以大大减小出现动态泄漏的概率；如果选用的还是轴封做密封的阀门，在检漏时
检测漏率问题
用户头疼的是检测漏率问题。漏分内漏和外漏；外漏比较好检测，内漏则难办些。较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，用蜡烛或打火机在点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。我们用自制的检漏仪可以在旋片泵工作范围内进行检漏，现在已经生产ZHC．1型仪表。该检漏仪表用ZJ．2电离规管，规管接在旋片泵吸气口来检测。若是扩散泵机组的话，可以检测到l0P的漏率。
内漏和外漏怎样查?
内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点。但是却有以下现象；机械泵的抽速明显偏低，真空计示值低，机械泵油很快乳化，真空室内的铁基零部件明显锈蚀，具备以上条件基本可以确定有内漏。有一台25kg中频炉，2X一70旋片泵和150罗茨泵两台泵加到一起抽也只能抽到l0Pa，150罗茨泵的作用显现不出来，没发现有外漏，却具备了机械泵油很快乳化，真空室内铁基件明显锈蚀的条件，解体设备清理干净后用通冷却水的方法查出是炉盖漏水。剩下就是查出漏点。先把内壁清理干净，再通冷却水，看有无湿润点，湿润处就是漏点。
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