氦气检漏的主要参数及优势
1、关键零部件集优采购,保证了系统的稳定性和可靠性;
2、真空箱内氦气本底抑零,保证了检漏的准确性、;
3、特有的清氦系统,快速有效地清除超标的氦本底,保证检测的稳定性和准确性;
4、实时监测氦气压力和浓度,保证了工件检测的精度;
5、可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯,极大降低氦气损耗(功能可选);
6、可同时检测多工件,并能按照需求自动判断出具体的有漏工件;
7、定制的的密封接头,可靠稳定,减少误判。
8、触摸屏实时显示监测数据和运行参数,监控一目了然。
9、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,确保了系统的操作安全及可靠运行。
今天和大家分享的是氦气检漏的主要参数及优势,希望对您有所帮助!
充气开关柜检漏设备
由于工件内外压差不能大于0.04Mpa,抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压,如果压力差超过设定值,则抽速较快的泵自动停止,等压力差达到规定要求时,泵自动运行,直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。系统同时具有自我诊断与报警功能,显示各种故障信息。
电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能,以及急停按钮,确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。为了保证工件的安全,系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式,以防止传感器失效而对系统造成的伤害。
结构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统,分散与集中控制相结合,层次分明、成本低廉、维护方便。上位机采用工控机,用于向PID发布指令、系统运行状态集中管理。
控制系统同时具有自我诊断与报警功能,显示各种故障信息。控制系统同时具有自我校准、连锁保护和报警功能,确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。
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氦质谱检漏仪的基本原理与结构
氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以-定能量注入质分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。