真空腔体
真空腔体是内部为真空状态的容器,很多先进的技术工艺均需要在真空或惰性气体保护条件下完成,真空腔体是这些工艺过程中重要的基础设备.
根据真空度国标真空被分为低真空(100000-100Pa),中真空(100-0.1Pa),高真空(0.1-10-5Pa),超高真空(10-5-10Pa)。低真空主要应用于隔热及绝缘、金属熔炼脱气、无氧化加热、真空冷冻及干燥和低压风洞等;高真空主要应用于真空冶金、真空镀膜设备等领域;超高真空则偏向物理实验方向。
真空腔体
豪克能镜面加工设备作为抛光的新工艺,在很多种类金属零部件加工方面具有的优势。可替代传统的磨床、滚压、镗滚、珩磨、抛光机、砂带机等其它金属表面光整加工设备及工艺;使金属工件高光洁度加工变得易如反掌。豪克能不仅仅可以抛光,还可以带来很多附加的好处:可使被加工工件表面光洁度提高3级以上(粗糙度Ra值轻松达到0.2以下);且工件的表面显微硬度提高20%以上;并大大提高了工件的表面耐磨性和耐腐蚀性。豪克能可用于处理各种不锈钢及其它金属工件。
真空腔体
超高真空技术应用广泛,从现有的光学传感器、光刻机、低温恒温器、电子显微镜和XPS光谱仪,到基于冷原子的便携式传感器、MEMS真空检测仪器、真空电子束智能增材制造系统等新兴领域。增材制造可大幅减少设备尺寸、重量和开发时间,从而加速基础研究和技术开发。通过激光粉床打印机制造一个利用磁光阱MOT捕获冷原子的小型超高真空腔体,由铝合金AlSi10Mg制造。该系统经历120小时的120℃烘烤后,达到了低于1×10-10mbar的压力范围。装置对获的原子云进行荧光图像,包含多达2×108个铷原子。增材制造的腔体的真空度优于5.0×10-9mbar,与常见的磁光阱真空腔体性能一致,见图1。这表明了增材工艺与超高真空腔体制造的适用性。