涡旋真空泵的应用领域
涡旋泵已被广泛应用于半导体行业：薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业：同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业：材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医院设备行业：透析机、生物制备与药品制备。包装行业：食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统很好的配置。
涡旋式真空泵
涡旋式真空泵是新一代的真空泵。它具有很高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速，涡旋式真空泵是两条渐开线螺旋曲线盘构成，即一个静涡旋盘和一个动涡旋盘。动涡旋盘作偏心安装，静涡旋盘与动涡旋盘便形成月芽形腔体。随着动涡旋盘转动，月芽形腔体不断向里旋转压缩，然后从中间排出至出气口。动涡旋盘连续运转，气体不断从进气口吸入、压缩，由出气口排出，形成真空。
涡旋真空泵主要部件
真空度：处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用真空度表明。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表明出体系压强实践数值低于大气压强的数值，从表上表明出来的数值又称为表压强，业界也称为极限相对压强，即：真空度=大气压强-对压强(大气压强一般取101325Pa，水环式真空泵极限对压强3300Pa；旋片式真空泵极限对压强约10Pa)抽气量：抽气量是真空泵抽速的一个衡量要素。一般单位用L/S和m/h来表明。是补偿漏气率的参数。
涡旋真空泵主要部件为涡旋盘付﹨曲轴和密封垫.该泵的抽气——压缩——排气机理是在动、静涡旋盘相互不接触的情况下，依靠动、静涡旋盘相对转动形成吸气腔和压缩腔，将被抽气体排出，连续完成吸气、压缩和排气过程。在充分考虑抽气过程中发生热交换的情况下，尽量减少动、静涡盘问的径向和轴向间隙,可以提高抽速和极限真空度。
针对涡旋真空泵结构上存在着的运转过程中水分和杂质易积聚和轴承易磨损的弱点,加气镇阀是必要的选择。
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