氦质谱检漏用氦气的选择
氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的质量为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25K，临界压力为2.26×105Pa，1atm压力下的沸点为4.214K，熔点为0.9K，三相点温度为2.186K，三相点压力为51.1×10-2Pa，在标准状态下的热导率为510.79J/(m·h·K)，在标准状态下的定压比热为5233J/(kg·K)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5Pa·s，1L液氦气化为标准状态下的氦气体积为700L。
氦气漏检测试
真空测试(由外向内)
氦气生产厂家表示，在真空测试中，对于较大的体积，用单独的泵系统对器件进行抽真空，对于较小的体积，则在检测器内部进行抽真空。找到漏洞使用流量可调的喷雾探针将氦气注入零件的泄漏部位。
压力测试(由内向外)
在压力测试中，零件用氦气或氦气和空气的混合物加压。找到漏洞使用连接到检漏仪入口的嗅探器探针扫描零件的潜在泄漏点。
固定气体检测仪
这是在工业装置上和生产过程中使用较多的检测仪。它可以安装在特定的检测点上，对特定的气体泄漏进行检测。固定式检测器在工艺和技术上更适合于固定检测所要求的连续、长时间稳定等特点。当然，它们同样要根据现场气体的种类和浓度加以选择，同时还要注意将它们安装在特定气体可能泄漏的部位，比如要根据气体的密度选择传感器安装的有效的高度等。
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