氦质谱仪的整体结构
质谱室
形象的说，质谱室是氦质谱检漏的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置磁铁形成磁分析器的磁场。
真空系统
真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。
电气系统
氦质谱仪电气部分的是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。
辅助真空系统的配置
在氦质谱仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常必要的。
标准漏孔
使用氦质谱仪的时候是否氦质谱仪能通过自检，那就认为这台氦质谱检漏仪是正常的呢？其实不然，氦质谱仪能通过自检，只是说明，氦质谱仪本身基本没有问题。但是，氦质谱仪是否准确？这个不确定。
怎样进行氦气泄漏检测效果更好？
氦泄漏检测：氦检漏器也被称为质谱仪检漏器(MSLD)，用于定位和测量系统或包含设备的泄漏大小。示踪气体氦气被引入到与检漏仪相连的测试部件中。通过测试部件泄漏的氦气进入系统，测量该分压，并将结果显示在仪表上。
氦检漏仪由以下部件组成:检测氦质量的分光计。维持分光计压力的真空系统。一个机械泵，用于抽空待测零件。支持不同检测阶段的阀门:排空、测试和排气。监控输出信号的放大器和读出仪器。电源和控制。将待测零件连接到检测器的夹具。
氦气检漏系统
1.效率好:由于水的粘度大于气体的粘度，与传统的泡水检测方法相比，气密性检测速度快，产品不需要干燥，所以效率好。
2.安全无污染:泡水检测会污染产品，容易间接腐蚀产品。
3.操作简单:气密性检测仪与氦气检漏或泡水检测法相比，无需操作者过多的肢体动作或长期训练，即可掌握操作方法，操作起来像个傻子。
4.成本低:与氦检漏仪相比，只需要干净的压缩气体代替氦气；传统的泡水检测方法检测产品需要几分钟左右，而气密性检测仪检测产品只需要几秒到十秒，可以节省大量的人力成本、材料成本和时间成本。
5.可靠性高:检漏仪采用微电脑控制系统，由微电脑根据设定值自动判断检测结果，结果可靠。传统的泡水方法由于人眼的疲劳和操作者思维的开小差而不客观。
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