真空腔体加工的注意事项
焊接是真空腔体制作中的环节之一。通常采用弧焊来完成焊接,可避免大气中熔化的金属和氧气发生化学反应而影响焊接质量,弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷射保护气体气,以防止熔化后的高温金属发生氧化反应。
超高真空腔体的弧焊接,原则上必须采用内焊,即焊接面是在真空一侧,以免存在死角而发生虚漏。真空腔体不允许内外双重焊接和双重密封
个大气压在1cm2的面积上产生约1kgf的压力,对直径20cm的法兰来讲,就是1t的压力。圆筒或球形的腔体,由于构造的特殊性使得压力分散,腔体的壁厚2~4mm就不会变形。
但是,对于方形腔体,侧面的平板上要承受上吨的压力,必须通过增加壁厚或设置加强筋,才能防止变形。
真空腔体
超高真空技术应用广泛,从现有的光学传感器、光刻机、低温恒温器、电子显微镜和XPS光谱仪,到基于冷原子的便携式传感器、MEMS真空检测仪器、真空电子束智能增材制造系统等新兴领域。增材制造可大幅减少设备尺寸、重量和开发时间,从而加速基础研究和技术开发。通过激光粉床打印机制造一个利用磁光阱MOT捕获冷原子的小型超高真空腔体,由铝合金AlSi10Mg制造。该系统经历120小时的120℃烘烤后,达到了低于1×10-10mbar的压力范围。装置对获的原子云进行荧光图像,包含多达2×108个铷原子。增材制造的腔体的真空度优于5.0×10-9mbar,与常见的磁光阱真空腔体性能一致,见图1。这表明了增材工艺与超高真空腔体制造的适用性。
真空设备应用领域广泛。如何处理各种复杂问题?
现在真空设备的应用领域愈来愈广,很多是与电、电磁、水、气源和制冷有关的。不论是真空炉还是镀膜设备都会碰到电气部分出问题。相当多的情况下不是电源部分的问题,这一点让人不好理解。其中有的是机械装配中不细心造成的,有的是绝缘材料或结构上的问题。这时,不要急于下结论,不要急于拆卸设备,应认真分析故障现象或请教专门从事此项工作的人员。避免误拆误卸造成不必要的损失。有一台设备,工作时发生放电现象,经过对工作记录的分析和与操作者的交流,得出不同的结论,有人认为电源有问题,有人认为是装配过程的问题。,对设备进行了拆卸,重新装配后放电现象消除了。有一台磁控溅射镀膜机,下半部的产品明显好于上半部的,靶的外表看不出什么问题来,拿高斯计一试,上半部磁环退磁了。经检查原来是水路出了问题。调整了水路,换了磁环,产品上下一致的问题得到了解决。