螺杆干式真空泵参数特点
螺杆干式真空泵,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向转动以产生吸、排气作用的抽气设备系统。在平时的工作过程中,我们把它叫做油封式真空泵的强化版。
优点:
1、无油设计,不耗油,无地漏缺点。
2、真空泵机身外、内增加防腐涂层,能够比油封式更适应环境。
3、泵内无气体压缩,可以进行有效的可凝性气体抽取。
4、结构不复杂,维护操作简单。
5、环保便捷
缺点:
1、螺杆干式真空泵价格较高
2、不适用于抽取爆的气体及含氧量较高的气体
螺杆干式真空泵原理
螺杆式干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子的旋转,每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环,现在以其中一对齿来说明。
吸气过程
阳转子按逆时针方向旋转,阴螺杆按顺时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面,下方的端面为排气端面。
压缩过程
转子端面是排气端面。在这里,阳转子沿顺时针方向旋转,阴转子沿逆时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面,下方的端面为排气端面。
排气过程
螺杆泵的排气过程,齿间容积与排气孔口连通后,即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小,具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。
螺杆式干式真空泵应用范围
螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻等,在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取回收溶剂,在脂肪酸生产中用来消除水污染,清除喷射器中的阻塞物;具体应用:干燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂的回收、油气回收、工厂普通真空、电子、真空镀膜、航空、核工业领域 能够抽除普通空气,腐蚀性气体,尤其能满足对获得清洁真空要求较高的环境。具体应用:真空镀膜、真空蒸馏、真空干燥、拉单晶、特气制造、离子刻蚀等。