真空腔体常用的清洗方法
1、超声波清洗
超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的.
2、电解侵蚀清洗
电解侵蚀清洗类似于电解抛光,是指在溶剂中利用电解作用,清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物,主要用于化学稳定性较高的合金部件,如不锈钢,耐热钢等.
3、蒸汽脱脂清洗
蒸气脱脂指被粘物表面用餐剂的蒸气不断清洗以达到脱脂的目的,适用于表面类脂膜和油脂膜的清洗,操作方法简单,可以实现大批量清洗.一些带有牢固附着物或污染较为严重的基片在擦洗或超声波清洗后,用蒸汽脱脂清洗可以实现很好的清洗效果.
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电解抛光
电解抛光基本原理与化学抛光相同,即靠选择性的溶解材料表面微小凸出部分，使表面光滑。与化学抛光相比，可以消除阴极反应的影响，效果较好。电化学抛光过程分为两步：（1）宏观整平 溶解产物向电解液中扩散，材料表面几何粗糙下降，Ra>1μm。（2）微光平整 阳极极化，表面光亮度提高，Ra＜1μm 。
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真空阀门出现断头螺栓的解决方法
1.锉方榫拧出法和管子钳拧出法，适用于螺栓在螺孔外有5mm以上高度的断头螺栓。
2.点焊拧出法适用于断头螺栓在螺孔外或断头螺栓与螺孔相平的条件下，它是由钻有比螺孔小的孔的扁钢制成，点焊填满孔后拧出。
3.方孔楔拧出法适用于断在螺孔内的螺栓，方法是先将螺栓中间钻一小孔，用方孔锥具敲人小孔中，然后拧出。
4.钻孔攻丝恢复法适用于无法取出螺栓的情况，它是先将真空阀门中螺栓断面整平，打样冲后，用比螺纹内径稍小的钻头钻孔，按原螺纹攻丝而成。
5.断头螺栓在采用以上拧出方法之前，应采取一些常规措施，如煤油浸透、清理表面油污锈迹(这点特别对点焊的拧出法更重要，否则焊不牢)。要时，还可将真空阀门的螺栓周围加热，在热塑的条件下将螺栓拧出。对断头螺栓的拧出还可以采用化学腐蚀方法，适当清洗锈死和腐蚀的螺栓、螺孔，会加速断头螺栓的拧出(拧出螺栓后应用水冲洗螺孔，以免残存化学药剂腐蚀阀件)。
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