涡旋真空泵的应用领域
涡旋泵已被广泛应用于半导体行业：薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业：同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业：材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医院设备行业：透析机、生物制备与药品制备。包装行业：食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统很好的配置。
涡旋真空泵的应用领域
涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:
品行业：升华、干燥、脱水、真空蒸发、真空保鲜、真空包装等。
科研院所：旋蒸、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试装置、风洞试验、真空环境模拟等。
电子光伏：浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。
航天航空：钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。
冶金行业：浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。
核工业：零泄露爪泵可抽除UF6气体
涡旋真空泵组成与工作原理
无油涡旋真空泵由泵头、电机、机座等构成。泵头含有动、定涡旋盘、曲轴、密封件、风扇和泵壳等。涡旋盘为圆形平面和其上伸出的一条或几条渐开线螺旋形盘壁组成，定涡旋盘与动涡旋盘组成涡旋盘付构成无油涡旋真空泵的基本抽气机构。工作过程中动、定涡旋盘互不接触，依靠相对运动形成容积不断缩小的新月形吸气腔和压缩腔，通过吸气、压缩、排气的循环，使气体从抽气口吸入、排气口排出，实现对被抽腔体抽真空。
主要用途
真空镀膜机，分析测试仪器，真空排气/回收装置，真空炉，排气台，高能束线，等离子清洗，检漏仪，真空包装机，真空吸附搬运。
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