产品介绍
· 高效转子型线设计，具有极限真空度高；
· 无润滑油，实现高洁净真空；
· 螺距转子有良好几何对称性，实现低噪音、高寿命；
· 可抽除可凝性蒸汽、含有灰尘、有毒等多种气体，不会滞留在泵腔内，适用于恶劣的应用场合；
· 特殊轴承设计，振动极低，并且拥有超强的启动可靠性，尤其适合苛刻的工艺制程；
· 独特密封方式，具有很强地密封性能及超长的使用寿命性；
· 特殊电机，提高运行可靠性，延长使用寿命并降低维护成本；
· 智能控制系统设计，使用智能编程可实现面板按钮一键启停 , 实现远程控制和监控功能；
· 结构设计紧凑，零部件少、易维护
产品应用
冶金
真空钎焊、电子束焊接、氮碳共渗、低压渗氮、低压渗碳、化学气相浸渍、烧结、金属注射成型、精密熔模铸造、电渣重熔、真空感应熔炼、真空电弧精炼、钢液脱气等。
镀膜
卷绕镀膜、硬质镀膜 (CVD/DLC)、表面活化、等离子喷涂、玻璃镀膜等。
干燥
冷冻干燥、套管填充、变压器干燥、管道干燥、电容器干燥、锂电池干燥等。
真空室排气
气体回收 / 循环、真空室抽空等。
等离子工艺
等离子焊接、离子渗碳、等离子蚀刻及清理、等离子清洗等。
太阳能光伏
单晶硅提拉、PV 层压、LED 制造等。
其它
贴合机、医疗设备等。
技术参数
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